武汉中导：对标国际，专攻半导体升级

11月19日，武汉中导大楼内，工作人员正有条不紊地做产品交付准备，一台纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备（NanoPro-150）当日从武汉出发，将抵达国内某功率半导体头部公司的量产线。

▲武汉中导研发人员正在工作。

检测设备作为优化制程控制良率、提高效率与降低成本的关键，是半导体产业中核心一环。

“产品性能对标国际巨头KLA（科磊）同类产品，价格不到其一半。”李波介绍，该产品开发引入了AI算法、图像识别等先进技术，与国际头部企业同类产品在灵敏度、检出速度等主要性能参数相近的同时，有明显的价格优势。

李波告诉长江日报记者，以纳米级制程为例，内含上百亿至几百亿个晶体管之多，最小尺寸只有头发丝直径的几千分之一。表面杂质颗粒沾污、晶体图案缺陷、机械划伤等任一晶圆缺陷都可能会导致半导体产品在使用时发生漏电、断电，影响芯片的成品率，“每天都在‘显微镜’下精益求精，以减少产量损失，提高工艺良率”。

尽管已是公司掌舵人，年过花甲的李波仍然带领一群研发团队啃科研“硬骨头”，参与产品研发设计，跟进项目进展。每日看完研发部门日报再休息，已成为他雷打不动的习惯。“研发是我们的日常生活，不像是办企业，更像是一个研究所。”他说。

45年前，“武汉伢”李波就读于武汉大学物理系半导体专业，是国内第一批专攻半导体方向的大学生。毕业后他赴海外深造，就职美国硅谷半导体头部企业。2006年，李波和10余名海外半导体专家一同回国，创立中导光电。

17年来，中导光电先后布局广东、苏州、武汉。其中，武汉中导自主研发的平板显示高端检测设备、半导体晶圆芯片高端检测设备等已占据我国市场份额前列。

▲研发人员正在进行半导体晶圆缺陷检测设备平整度调试。

目前，武汉中导正紧锣密鼓研发的半导体前道制程的检测设备升级产品NanoPro-200、NanoPro-300，也分别进入样品测试和研发关键期。“全部量产后，可覆盖国内半导体前道检测设备需求市场的90%以上。”李波说。

在他看来，半导体行业是“技术和资金双密集”领域，而人才是主要竞争力。依托武汉高校林立的优势，武汉中导已聚焦来自光学成像、机器视觉、图像处理及算法等多个领域的技术人才，“未来还将持续深耕武汉，加大投资，从租赁厂房到自建厂房，为后续产品量产做准备”。

时下，包含武汉中导在内，武汉已聚集烽火科技、华引芯、芯擎科技、智新半导体、鼎龙控股等一批半导体产业链上下游企业，产业集群初步凸显。

“半导体产业集群上，武汉还有进一步的发展空间。”李波希望，相关部门继续加大招商引资力度，引育扶持相关产业链，让武汉半导体产业上下游企业“抱团取暖”“强强联合”“快马加鞭”，加速打造半导体产业集群新高地。